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文献
J-GLOBAL ID：201202237435940517
整理番号：12A0684781
エポキシ化ペルフルオロポリエーテル:疎水性のネガティブ型ホトレジストへのルート
Epoxidized Perfluoropolyethers: A Route to Hydrophobic, Negative-Tone Photoresists
CHAFFINS Sterling
(Hewlett-Packard Co., Oregon)
,
HINCH Garry
(Hewlett-Packard Co., Oregon)
,
DEKAM Kevin
(Hewlett-Packard Co., Oregon)
,
WATERHOUS Vince
(Hewlett-Packard Co., Oregon)
,
SMITH Jim
(Hewlett-Packard Co., Oregon)
,
OVERBAY Milo
(Hewlett-Packard Co., Oregon)
,
BILICH Dan
(Hewlett-Packard Co., Oregon)
,
HOVERMALE Chris
(Hewlett-Packard Co., Oregon)
,
JONES John
(Hewlett-Packard Co., Oregon)
資料名：
Journal of Applied Polymer Science
(Journal of Applied Polymer Science)
巻： 124 号： 6 ページ： 4636-4644 発行年： 2012年06月15日
JST資料番号： C0467A ISSN： 0021-8995 CODEN： JAPNAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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