文献
J-GLOBAL ID:201202238362428037
整理番号:12A0953119
フォトリソグラフィー画像モデリング時の光源離散化法の研究
Study of methods for discretizing a source when modelling a photolithographic image
著者 (2件):
IVANOVA T. V.
(St. Petersburg National Res. Univ. Information Technol., Mechanics, and Optics, St. Petersburg)
,
ZUEVA L. V.
(ZAO OKB Karat, St. Petersburg)
資料名:
Journal of Optical Technology
(Journal of Optical Technology)
巻:
79
号:
5
ページ:
295-298
発行年:
2012年05月
JST資料番号:
H0664A
ISSN:
1070-9762
CODEN:
JOTEE4
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)