文献
J-GLOBAL ID:201202238689574975
整理番号:12A0873971
容量性MEMSスイッチにおける劣化機構の実験的隔離
Experimental isolation of degradation mechanisms in capacitive microelectromechanical switches
著者 (5件):
OLSZEWSKI Z.
(Tyndall National Inst., Univ. Coll. Cork, Dyke Parade, Cork, Ireland)
,
HOULIHAN R.
(Tyndall National Inst., Univ. Coll. Cork, Dyke Parade, Cork, Ireland)
,
RYAN C.
(Tyndall National Inst., Univ. Coll. Cork, Dyke Parade, Cork, Ireland)
,
O’MAHONY C.
(Tyndall National Inst., Univ. Coll. Cork, Dyke Parade, Cork, Ireland)
,
DUANE R.
(Tyndall National Inst., Univ. Coll. Cork, Dyke Parade, Cork, Ireland)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
100
号:
23
ページ:
233505-233505-4
発行年:
2012年06月04日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)