文献
J-GLOBAL ID:201202238701171520
整理番号:12A1754309
SPMとの比較における電解硫酸溶液を用いたレジスト除去に関する研究
Study on Resist Removal Using Electrolyzed Sulfuric Acid Solution in Comparison with SPM
著者 (6件):
NAGAI Tatsuo
(Kurita Water Ind., LTD, JPN)
,
YAMAKAWA Haruyoshi
(Kurita Water Ind., LTD, JPN)
,
UCHIDA Minoru
(Kurita Water Ind., LTD, JPN)
,
OHTSU Toru
(Kurita Water Ind., LTD, JPN)
,
IKEMIYA Norihito
(Kurita Water Ind., LTD, JPN)
,
MORITA Hiroshi
(Kurita Water Ind., LTD, JPN)
資料名:
Diffusion and Defect Data Part B. Solid State Phenomena
(Diffusion and Defect Data Part B. Solid State Phenomena)
巻:
187
ページ:
109-112
発行年:
2012年
JST資料番号:
T0583A
ISSN:
1012-0394
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)