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文献
J-GLOBAL ID：201202239345973311
整理番号：12A0909979
高圧力・膜厚均一を目指したCVD用アレイ型プラズマ源
Array type plasma source for CVD aimed at high pressure and film thickness uniformity
星島一輝
(大阪大)
,
中島義晴
(大阪大)
,
木村憲明
(大阪大)
資料名：
電気学会プラズマ研究会資料
(電気学会研究会資料)
巻： PST-12 号： 13-26.28 ページ： 19-22 発行年： 2012年05月10日
JST資料番号： Z0951A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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