文献
J-GLOBAL ID:201202239598187290
整理番号:12A1429686
特化した有限要素法に基づく正確な光学CDプロファイラ
Accurate Optical CD Profiler Based On Specialized Finite Element Method
著者 (2件):
CARRERO Jesus
(Luminescent Technol., CA, USA)
,
PERCIN Goekhan
(Luminescent Technol., CA, USA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8324
号:
Pt.1
ページ:
83240P.1-83240P.7
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)