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J-GLOBAL ID：201202239659496763 整理番号：12A0078876

液体中でマイクロ波プラズマを発生させるために使用される電極からの金属汚染を防止するための改良

Improvement in preventing metal contamination from an electrode used for generating microwave plasma in liquid

著者 (5件)：

HATTORI Yoshiaki

MUKASA Shinobu

TOYOTA Hiromichi

YAMASHITA Hiroshi

NOMURA Shinfuku

資料名：

Surface & Coatings Technology (Surface & Coatings Technology)

巻： 206 号： 8-9 ページ： 2140-2145 発行年： 2012年01月15日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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