前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201202240645733752
整理番号：12A1306328
フォトレジストプラズマ改質の実時間測定:プラズマ真空紫外放射とイオンの役割
Real-time measurements of plasma photoresist modifications: The role of plasma vacuum ultraviolet radiation and ions
WEILNBOECK F.
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, and Inst. for Res. in Electronics and Applied Physics, Univ. of Maryland ...)
,
KUMAR N.
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, and Inst. for Res. in Electronics and Applied Physics, Univ. of Maryland ...)
,
OEHRLEIN G. S.
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, and Inst. for Res. in Electronics and Applied Physics, Univ. of Maryland ...)
,
CHUNG T.-y.
(Dep. of Chemical and Biomolecular Engineering, Univ. of California, Berkeley, California 94720)
,
GRAVES D.
(Dep. of Chemical and Biomolecular Engineering, Univ. of California, Berkeley, California 94720)
,
LI M.
(Dow Electronic Materials, 455 Forest Street, Marlborough, Massachusetts 01752)
,
HUDSON E. A.
(Lam Res. Corp., 4650 Cushing Parkway, Fremont, California 94538)
,
BENCK E. C.
(National Inst. of Standards and Technol., Gaithersburg, Maryland 20899)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 30 号： 3 ページ： 031807-031807-12 発行年： 2012年05月
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。