文献
J-GLOBAL ID:201202241096760986
整理番号:12A1650136
収束イオンビームによるフォトニクスアプリケーション用のAl2O3誘電体層のナノ構造製作
Focused-ion-beam nanostructuring of Al2O3 dielectric layers for photonic applications
著者 (5件):
AY Feridun
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
,
AY Feridun
(Anadolu Univ., Eskisehir, TUR)
,
WOERHOFF Kerstin
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
,
DE RIDDER Rene M
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
,
POLLNAU Markus
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
22
号:
10
ページ:
105008,1-5
発行年:
2012年10月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)