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文献
J-GLOBAL ID：201202241754066711
整理番号：12A0588446
人工視覚用高効率刺激電極のIrOxスパッタリング成膜条件最適化
Optimization of IrOx sputtering parameter for High Efficiency Stimulus Electrode Employed in Retinal Prosthesis Device
PAN Yi-Li
(NAIST)
,
NODA Toshihiko
(NAIST)
,
SASAGAWA Kiyotaka
(NAIST)
,
TOKUDA Takashi
(NAIST)
,
KANDA Hiroyuki
(Osaka Univ.)
,
FUJIKADO Takashi
(Osaka Univ.)
,
OHTA Jun
(NAIST)
資料名：
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)
巻： 59th ページ： ROMBUNNO.18A-GP5-15 発行年： 2012年02月29日
JST資料番号： Y0054B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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