文献
J-GLOBAL ID:201202241975912595
整理番号:12A0875698
プルイン方式による表面マイクロマシン加工ポリシリコン梁の熱膨張係数のためのオンライン試験構造
An online test structure for the thermal expansion coefficient of surface micromachined polysilicon beams by a pull-in approach
著者 (4件):
LIU Hai-Yun
(Southeast Univ., Nanjing, CHN)
,
ZHOU Zai-Fa
(Southeast Univ., Nanjing, CHN)
,
LI Wei-Hua
(Southeast Univ., Nanjing, CHN)
,
HUANG Qing-An
(Southeast Univ., Nanjing, CHN)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
22
号:
5
ページ:
055017,1-8
発行年:
2012年05月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)