文献
J-GLOBAL ID:201202243429818424
整理番号:12A0600963
MEMSパッケージの気密性評価法の開発
著者 (3件):
CHENG Shanshan
(Waseda Univ.)
,
高森政聡
(Sakamoto Electric Mfg. CO., LTD.)
,
植田敏嗣
(Waseda Univ.)
資料名:
電気学会全国大会講演論文集
(Annual Meeting Record, I.E.E. Japan)
巻:
2012
号:
3
ページ:
188
発行年:
2012年03月05日
JST資料番号:
S0653A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)