文献
J-GLOBAL ID:201202243691686440
整理番号:12A1650154
オンチップ真空のためのSiマイクロマシニング加工した48ステージKnudsenポンプ
A Si-micromachined 48-stage Knudsen pump for on-chip vacuum
著者 (3件):
GUPTA Naveen K
(Univ. Michigan, MI, USA)
,
AN Seungdo
(Univ. Michigan, MI, USA)
,
GIANCHANDANI Yogesh B
(Univ. Michigan, MI, USA)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
22
号:
10
ページ:
105026,1-8
発行年:
2012年10月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)