文献
J-GLOBAL ID:201202243782741664
整理番号:12A1650155
超高純度気体雰囲気で試験したPtコートおよびRuO2コートしたマイクロリレーの設計,製作,性能および信頼性
Design, fabrication, performance and reliability of Pt- and RuO2-coated microrelays tested in ultra-high purity gas environments
著者 (5件):
DE BOER M P
(Carnegie Mellon Univ., PA, USA)
,
CZAPLEWSKI D A
(Argonne National Lab., IL, USA)
,
BAKER M S
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
WOLFLEY S L
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
OHLHAUSEN J A
(Sandia National Lab., NM, USA)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
22
号:
10
ページ:
105027,1-15
発行年:
2012年10月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)