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文献
J-GLOBAL ID：201202244074345798
整理番号：12A1516413
自己無撞着高周波伝播と周辺直流プラズマバイアス:“幅広シース”漸近レジームの簡略化された三次元非線形処理
Self consistent radio-frequency wave propagation and peripheral direct current plasma biasing: Simplified three dimensional non-linear treatment in the “wide sheath” asymptotic regime
COLAS L.
(CEA, IRFM, F-13108 Saint-Paul-lez-Durance, FRA)
,
JACQUOT J.
(CEA, IRFM, F-13108 Saint-Paul-lez-Durance, FRA)
,
HEURAUX S.
(IJL-P2M UMR 7198 CNRS, F-54506 Vandoeuvre les Nancy, FRA)
,
FAUDOT E.
(IJL-P2M UMR 7198 CNRS, F-54506 Vandoeuvre les Nancy, FRA)
,
CROMBE K.
(Dep. of Applied Physics, Ghent Univ., B-9000 Ghent, BEL)
,
KYRYTSYA V.
(LPP-ERM/KMS, Assoc. Euratom-′′Belgian State,′′ TEC Partner, Brussels, BEL)
,
HILLAIRET J.
(CEA, IRFM, F-13108 Saint-Paul-lez-Durance, FRA)
,
GONICHE M.
(CEA, IRFM, F-13108 Saint-Paul-lez-Durance, FRA)
資料名：
Physics of Plasmas
(Physics of Plasmas)
巻： 19 号： 9 ページ： 092505-092505-15 発行年： 2012年09月
JST資料番号： T0641B ISSN： 1070-664X CODEN： PHPAEN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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