前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201202244086132943
整理番号：12A0956082
繰返し堆積とアニーリング方式からの電気的に測った原子層堆積HfO2結晶性
Crystallinity of Electrically Scaled Atomic Layer Deposited HfO2 from a Cyclical Deposition and Annealing Scheme
CONSIGLIO S.
(TEL Technol. Center, New York, USA)
,
CLARK R. D.
(TEL Technol. Center, New York, USA)
,
BERSCH E.
(Univ. at Albany, New York, USA)
,
LAROSE J. D.
(Univ. at Albany, New York, USA)
,
WELLS I.
(Univ. at Albany, New York, USA)
,
TAPILY K.
(TEL Technol. Center, New York, USA)
,
LEUSINK G. J.
(TEL Technol. Center, New York, USA)
,
DIEBOLD A. C.
(Univ. at Albany, New York, USA)
資料名：
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 159 号： 6 ページ： G80-G88 発行年： 2012年
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。