文献
J-GLOBAL ID:201202244231990309
整理番号:12A1636372
先端電子デバイスの量産を支える超精密研磨技術 ガラス研磨の計算科学シミュレーション:酸化セリウムに代わる代替砥粒の設計指針の提案
著者 (3件):
尾澤伸樹
(東北大 大学院工学研究科 エネルギー安全科学国際研究セ)
,
中村美穂
(東北大 大学院工学研究科 エネルギー安全科学国際研究セ)
,
久保百司
(東北大 大学院工学研究科 エネルギー安全科学国際研究セ)
資料名:
精密工学会誌
(Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻:
78
号:
11
ページ:
941-946
発行年:
2012年11月05日
JST資料番号:
F0268C
ISSN:
0912-0289
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)