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文献
J-GLOBAL ID：201202244264221700
整理番号：12A1005975
Si-Ti-C溶液を用いた溶液成長法により成長させた4H-SiC単結晶の結晶度評価
Crystallinity evaluation of 4H-SiC single crystal grown by solution growth technique using Si-Ti-C solution
KAMEI K.
(Sumitomo Metal Ind. Ltd., Amagasaki, JPN)
,
KUSUNOKI K.
(Sumitomo Metal Ind. Ltd., Amagasaki, JPN)
,
YASHIRO N.
(Sumitomo Metal Ind. Ltd., Amagasaki, JPN)
,
OKADA N.
(Sumitomo Metal Ind. Ltd., Amagasaki, JPN)
,
MORIGUCHI K.
(Sumitomo Metal Ind. Ltd., Amagasaki, JPN)
,
DAIKOKU H.
(Toyota Motor Corp., Shizuoka, JPN)
,
KADO M.
(Toyota Motor Corp., Shizuoka, JPN)
,
SUZUKI H.
(Toyota Motor Corp., Shizuoka, JPN)
,
SAKAMOTO H.
(Toyota Motor Corp., Shizuoka, JPN)
,
BESSHO T.
(Toyota Motor Corp., Shizuoka, JPN)
資料名：
Materials Science Forum
(Materials Science Forum)
巻： 717/720 号： Pt.1 ページ： 45-48 発行年： 2012年
JST資料番号： D0716B ISSN： 0255-5476 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： スイス (CHE) 言語： 英語 (EN)
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