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文献
J-GLOBAL ID:201202244264221700   整理番号:12A1005975

Si-Ti-C溶液を用いた溶液成長法により成長させた4H-SiC単結晶の結晶度評価

Crystallinity evaluation of 4H-SiC single crystal grown by solution growth technique using Si-Ti-C solution
著者 (10件):
KAMEI K.
(Sumitomo Metal Ind. Ltd., Amagasaki, JPN)
KUSUNOKI K.
(Sumitomo Metal Ind. Ltd., Amagasaki, JPN)
YASHIRO N.
(Sumitomo Metal Ind. Ltd., Amagasaki, JPN)
OKADA N.
(Sumitomo Metal Ind. Ltd., Amagasaki, JPN)
MORIGUCHI K.
(Sumitomo Metal Ind. Ltd., Amagasaki, JPN)
DAIKOKU H.
(Toyota Motor Corp., Shizuoka, JPN)
KADO M.
(Toyota Motor Corp., Shizuoka, JPN)
SUZUKI H.
(Toyota Motor Corp., Shizuoka, JPN)
SAKAMOTO H.
(Toyota Motor Corp., Shizuoka, JPN)
BESSHO T.
(Toyota Motor Corp., Shizuoka, JPN)

資料名:
Materials Science Forum  (Materials Science Forum)

巻: 717/720  号: Pt.1  ページ: 45-48  発行年: 2012年 
JST資料番号: D0716B  ISSN: 0255-5476  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: スイス (CHE)  言語: 英語 (EN)
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