文献
J-GLOBAL ID:201202244445402781
整理番号:12A0809860
HVPEで成長したGaN自立基板の転位低減のための改善に向けた硬度制御
Hardness control for improvement of dislocation reduction in HVPE-grown freestanding GaN substrates
著者 (4件):
FUJIKURA Hajime
(Compound Semiconductor Production Div., Hitachi-Cable, Ltd., 880 Isagosawa-cho, Hitachi Ibaraki 319-1418, JPN)
,
OSHIMA Yuichi
(Advanced Electronic Materials Res. Dep., R&D Lab., Hitachi-Cable, Ltd., 3550 Kidamari, Tsuchiura, Ibaraki 300-0026, JPN)
,
MEGRO Takeshi
(Compound Semiconductor Production Div., Hitachi-Cable, Ltd., 880 Isagosawa-cho, Hitachi Ibaraki 319-1418, JPN)
,
SAITO Toshiya
(Compound Semiconductor Production Div., Hitachi-Cable, Ltd., 880 Isagosawa-cho, Hitachi Ibaraki 319-1418, JPN)
資料名:
Journal of Crystal Growth
(Journal of Crystal Growth)
巻:
350
号:
1
ページ:
38-43
発行年:
2012年07月01日
JST資料番号:
B0942A
ISSN:
0022-0248
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)