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文献
J-GLOBAL ID:201202244445402781   整理番号:12A0809860

HVPEで成長したGaN自立基板の転位低減のための改善に向けた硬度制御

Hardness control for improvement of dislocation reduction in HVPE-grown freestanding GaN substrates
著者 (4件):
FUJIKURA Hajime
(Compound Semiconductor Production Div., Hitachi-Cable, Ltd., 880 Isagosawa-cho, Hitachi Ibaraki 319-1418, JPN)
OSHIMA Yuichi
(Advanced Electronic Materials Res. Dep., R&D Lab., Hitachi-Cable, Ltd., 3550 Kidamari, Tsuchiura, Ibaraki 300-0026, JPN)
MEGRO Takeshi
(Compound Semiconductor Production Div., Hitachi-Cable, Ltd., 880 Isagosawa-cho, Hitachi Ibaraki 319-1418, JPN)
SAITO Toshiya
(Compound Semiconductor Production Div., Hitachi-Cable, Ltd., 880 Isagosawa-cho, Hitachi Ibaraki 319-1418, JPN)

資料名:
Journal of Crystal Growth  (Journal of Crystal Growth)

巻: 350  号:ページ: 38-43  発行年: 2012年07月01日 
JST資料番号: B0942A  ISSN: 0022-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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