文献
J-GLOBAL ID:201202245808487381
整理番号:12A0435915
rf-マグネトロンスパッタリング法で堆積した窒化亜鉛薄膜の光学的特性
Optical properties of zinc nitride films deposited by the rf magnetron sputtering method
著者 (3件):
JAYATISSA Ahalapitiya H
(Dep., Univ. Toledo, OH, USA)
,
WEN Ting
(Dep., Univ. Toledo, OH, USA)
,
GAUTAM Madhav
(Dep., Univ. Toledo, OH, USA)
資料名:
Journal of Physics. D. Applied Physics
(Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻:
45
号:
4
ページ:
045402,1-6
発行年:
2012年02月01日
JST資料番号:
B0092B
ISSN:
0022-3727
CODEN:
JPAPBE
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)