文献
J-GLOBAL ID:201202245898377334
整理番号:12A1439411
OPCとシミュレーションの観点からのNTD適用の検討
Consideration for Application of NTD from OPC and Simulation perspective
著者 (6件):
KIM Mi-Hye
(Hynix Semiconductor Inc., Kyungki-do, KOR)
,
MOON James
(Hynix Semiconductor Inc., Kyungki-do, KOR)
,
NAM Byoung-Sub
(Hynix Semiconductor Inc., Kyungki-do, KOR)
,
OH Se-Young
(Hynix Semiconductor Inc., Kyungki-do, KOR)
,
YANG Hyun-Jo
(Hynix Semiconductor Inc., Kyungki-do, KOR)
,
YIM Donggyu
(Hynix Semiconductor Inc., Kyungki-do, KOR)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8326
号:
Pt.2
ページ:
83262C.1-83262C.9
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)