文献
J-GLOBAL ID:201202247550362166
整理番号:12A1429733
SMO発生プロセスのためのスキャナーに対する画像光学系セットアップと最適化
Imaging optics setup and optimization on scanner for SMO generation process
著者 (4件):
MATSUYAMA Tomoyuki
(Nikon Corp., Saitama, JPN)
,
OGATA Taro
(Nikon Corp., Saitama, JPN)
,
MIZUNO Yasushi
(Nikon Corp., Saitama, JPN)
,
OHMURA Yasuhiro
(Nikon Corp., Saitama, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8326
号:
Pt.1
ページ:
83260N.1-83260N.10
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)