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文献
J-GLOBAL ID：201202247659189766
整理番号：12A0795845
電子及びフォトニックデバイス用市販基板の欠陥のコンピューテーショナルイメージング
Computational imaging of defects in commercial substrates for electronic and photonic devices
FUKUZAWA Masayuki
(Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN)
,
KASHIWAGI Ryo
(Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN)
,
YAMADA Masayoshi
(Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 8296 ページ： 829616.1-829616.7 発行年： 2012年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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