文献
J-GLOBAL ID:201202248221281070
整理番号:12A1439313
オーバービュー:ダブルパターニングプロセスの絶えざる進展
Overview: Continuous evolution on double-patterning process
著者 (5件):
YAEGASHI Hidetami
(TOKYO ELECTRON LTD, Tokyo, JPN)
,
OYAMA Kenichi
(TOKYO ELECTRON LTD, Yamanashi, JPN)
,
HARA Arisa
(TOKYO ELECTRON LTD, Yamanashi, JPN)
,
NATORI Sakurako
(TOKYO ELECTRON LTD, Yamanashi, JPN)
,
YAMAUCHI Shohei
(TOKYO ELECTRON LTD, Yamanashi, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8325
ページ:
83250B.1-83250B.8
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)