文献
J-GLOBAL ID:201202248787993612
整理番号:12A0264290
シリコン技術によって吊り下げられた膜上に実現したパッケージしていない赤外熱電マイクロセンサ
Unpackaged infrared thermoelectric microsensor realised on suspended membrane by silicon technology
著者 (6件):
SION Charles
(IEMN, Inst. of Electronics, Microelectronics and Nanotechnology, UMR CNRS 8520 and Lille 1 Univ., Avenue Poincare ...)
,
GODTS Pascale
(IEMN, Inst. of Electronics, Microelectronics and Nanotechnology, UMR CNRS 8520 and Lille 1 Univ., Avenue Poincare ...)
,
ZIOUCHE Katir
(IEMN, Inst. of Electronics, Microelectronics and Nanotechnology, UMR CNRS 8520 and Lille 1 Univ., Avenue Poincare ...)
,
BOUGRIOUA Zahia
(IEMN, Inst. of Electronics, Microelectronics and Nanotechnology, UMR CNRS 8520 and Lille 1 Univ., Avenue Poincare ...)
,
LASRI Tuami
(IEMN, Inst. of Electronics, Microelectronics and Nanotechnology, UMR CNRS 8520 and Lille 1 Univ., Avenue Poincare ...)
,
LECLERCQ Didier
(IEMN, Inst. of Electronics, Microelectronics and Nanotechnology, UMR CNRS 8520 and Lille 1 Univ., Avenue Poincare ...)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
175
ページ:
78-86
発行年:
2012年03月
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)