文献
J-GLOBAL ID:201202249160502750
整理番号:12A1562858
大面積画像アプリケーションのための低誘電率膜の合成と特性付け
Synthesis and characterization of low-k films for large area imaging applications
著者 (4件):
JEYAKUMAR R.
(Univ. Waterloo, ON, CAN)
,
GU Z.
(Univ. Waterloo, ON, CAN)
,
SIVOTHTHAMAN S.
(Univ. Waterloo, ON, CAN)
,
NATHAN A.
(Univ. Waterloo, ON, CAN)
資料名:
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻:
99
ページ:
58-61
発行年:
2012年11月
JST資料番号:
C0406B
ISSN:
0167-9317
CODEN:
MIENEF
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)