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文献
J-GLOBAL ID：201202250404726246
整理番号：12A0121673
原子層蒸着したAl2O3膜とAl2O3/a-SiNx:H積層による有機発光ダイオードの陰極カプセル封じ
Cathode encapsulation of organic light emitting diodes by atomic layer deposited Al2O3 films and Al2O3/a-SiNx:H stacks
KEUNING W.
(Dep. of Applied Physics, Eindhoven Univ. of Technol., P.O. Box 513, 5600 MB Eindhoven, NLD)
,
VAN DE WEIJER P.
(Philips Res. Laboratories, High Tech Campus 4, P.O. Box WAG12, 5656 AE Eindhoven, NLD)
,
LIFKA H.
(Philips Res. Laboratories, High Tech Campus 4, P.O. Box WAG12, 5656 AE Eindhoven, NLD)
,
KESSELS W. M. M.
(Dep. of Applied Physics, Eindhoven Univ. of Technol., P.O. Box 513, 5600 MB Eindhoven, NLD)
,
CREATORE M.
(Dep. of Applied Physics, Eindhoven Univ. of Technol., P.O. Box 513, 5600 MB Eindhoven, NLD)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 30 号： 1 ページ： 01A131 発行年： 2012年01月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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