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文献
J-GLOBAL ID：201202250606066310
整理番号：12A1111985
零ばね定数を有する非接触懸架に基づく微細加工加速度計に対する提案
Proposal for Micromachined Accelerometer, Based on a Contactless Suspension With Zero Spring Constant
POLETKIN Kirill V.
(Nanyang Technological Univ., Singapore)
,
CHERNOMORSKY Alexsandr I.
(State Technical Univ., Moscow, RUS)
,
SHEARWOOD Christopher
(Nanyang Technological Univ., Singapore)
資料名：
IEEE Sensors Journal
(IEEE Sensors Journal)
巻： 12 号： 7-8 ページ： 2407-2413 発行年： 2012年07月
JST資料番号： W1318A ISSN： 1530-437X CODEN： ISJEAZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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