文献
J-GLOBAL ID:201202250858560717
整理番号:12A1237510
マトリックス効果により補償したMCs+-SIMSによるSiGe合金の正確な組成分析
Exact compositional analysis of SiGe alloys by matrix effect compensated MCs+-SIMS
著者 (5件):
SAHA Biswajit
(Saha Inst. of Nuclear Physics, Surface Physics Div., 1/AF Bidhannagar, 700064, Kolkata, IND)
,
CHAKRABORTY Purushottam
(Saha Inst. of Nuclear Physics, Surface Physics Div., 1/AF Bidhannagar, 700064, Kolkata, IND)
,
GNASER Hubert
(Technische Universitaet Kaiserslautern, Fachbereich Physik and Inst. fuer Oberflaechen- und Schichtanalytik, 67663 ...)
,
SHARMA Manjula
(Saha Inst. of Nuclear Physics, Surface Physics Div., 1/AF Bidhannagar, 700064, Kolkata, IND)
,
SANYAL Milan K.
(Saha Inst. of Nuclear Physics, Surface Physics Div., 1/AF Bidhannagar, 700064, Kolkata, IND)
資料名:
Applied Physics. A. Materials Science & Processing
(Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻:
108
号:
3
ページ:
671-677
発行年:
2012年09月
JST資料番号:
D0256C
ISSN:
0947-8396
CODEN:
APHYCC
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)