前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201202251257342050
整理番号：12A1756769
三個の多層膜ミラーを持つ高倍率光学系を用いた波長での極端紫外リソグラフィーマスクの観察
At-Wavelength Extreme Ultraviolet Lithography Mask Observation Using a High-Magnification Objective with Three Multilayer Mirrors
TOYODA Mitsunori
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
YAMASOE Kenjiro
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
HATANO Tadashi
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
YANAGIHARA Mihiro
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
TOKIMASA Akifumi
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
HARADA Tetsuo
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
WATANABE Takeo
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
KINOSHITA Hiroo
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
資料名：
Applied Physics Express
(Applied Physics Express)
巻： 5 号： 11 ページ： 112501.1-112501.3 発行年： 2012年11月25日
JST資料番号： F0599C ISSN： 1882-0778 CODEN： APEPC4 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。