前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201202251483508808
整理番号：12A1152100
Ta2O5の原子層堆積のための高性能イミドアミドプリカーサ
High-performance imido-amido precursor for the atomic layer deposition of Ta2O5
BLANQUART Timothee
(Univ. Helsinki, Helsinki, FIN)
,
LONGO Valentino
(Technische Universiteit Eindhoven, Eindhoven, NLD)
,
NIINISTOE Jaakko
(Univ. Helsinki, Helsinki, FIN)
,
HEIKKILAE Mikko
(Univ. Helsinki, Helsinki, FIN)
,
KUKLI Kaupo
(Univ. Helsinki, Helsinki, FIN)
,
RITALA Mikko
(Univ. Helsinki, Helsinki, FIN)
,
LESKELAE Markku
(Univ. Helsinki, Helsinki, FIN)
資料名：
Semiconductor Science and Technology
(Semiconductor Science and Technology)
巻： 27 号： 7 ページ： 074003,1-6 発行年： 2012年07月
JST資料番号： E0503B ISSN： 0268-1242 CODEN： SSTEET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。