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文献
J-GLOBAL ID：201202251747836400
整理番号：12A1650148
リフトオフとアライメント露光プロセスを使用した準楕円体マイクロレンズ製作法
Semiellipsoid microlens fabrication method using the lift-off and alignment exposure processes
HUNG Chien-Hsin
(National Chung Hsing Univ., Taichung, TWN)
,
HUNG Shih-Yu
(Nan Kai Univ. Technol., Nantou, TWN)
,
SHEN Ming-Ho
(Nan Kai Univ. Technol., Nantou, TWN)
,
YANG Hsiharng
(National Chung Hsing Univ., Taichung, TWN)
資料名：
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 22 号： 10 ページ： 105020,1-10 発行年： 2012年10月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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