文献
J-GLOBAL ID:201202251865714785
整理番号:12A0460806
エネルギーフィルタをかけたナノビーム電子回折による歪解析の確度と精度の改良
Improving Accuracy and Precision of Strain Analysis by Energy-Filtered Nanobeam Electron Diffraction
著者 (7件):
HAEHNEL Angelika
(Max Planck Inst. Microstructure Physics, Halle(Saale), DEU)
,
REICHE Manfred
(Max Planck Inst. Microstructure Physics, Halle(Saale), DEU)
,
MOUTANABBIR Oussama
(Max Planck Inst. Microstructure Physics, Halle(Saale), DEU)
,
BLUMTRITT Horst
(Max Planck Inst. Microstructure Physics, Halle(Saale), DEU)
,
GEISLER Holm
(Global Foundries Dresden Module One LLC & Co. KG, Dresden, DEU)
,
HOENTSCHEL Jan
(Global Foundries Dresden Module One LLC & Co. KG, Dresden, DEU)
,
ENGELMANN Hans-Juergen
(Global Foundries Dresden Module One LLC & Co. KG, Dresden, DEU)
資料名:
Microscopy and Microanalysis
(Microscopy and Microanalysis)
巻:
18
号:
1
ページ:
229-240
発行年:
2012年02月
JST資料番号:
W1587A
ISSN:
1431-9276
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)