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文献
J-GLOBAL ID：201202252544855189
整理番号：12A0413918
レーザ分子ビームエピタクシーにより堆積した立方晶AlN膜の構造,光学,および電気特性
Structural, optical and electrical properties of cubic AlN films deposited by laser molecular beam epitaxy
FU Yuechun
(Guangxi Univ., Key Lab. of New Processing Technol. for Materials and Nonferrous Metals, Ministry of Education, Coll. ...)
,
LI Xuefei
(Guangxi Univ., Key Lab. of New Processing Technol. for Materials and Nonferrous Metals, Ministry of Education, Coll. ...)
,
WANG Yunyun
(Guangxi Univ., Key Lab. of New Processing Technol. for Materials and Nonferrous Metals, Ministry of Education, Coll. ...)
,
HE Huan
(Guangxi Univ., Key Lab. of New Processing Technol. for Materials and Nonferrous Metals, Ministry of Education, Coll. ...)
,
SHEN Xiaoming
(Guangxi Univ., Key Lab. of New Processing Technol. for Materials and Nonferrous Metals, Ministry of Education, Coll. ...)
資料名：
Applied Physics. A. Materials Science & Processing
(Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 106 号： 4 ページ： 937-940 発行年： 2012年03月
JST資料番号： D0256C ISSN： 0947-8396 CODEN： APHYCC 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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