文献
J-GLOBAL ID:201202252605055784
整理番号:12A1405417
パリレンC膜の構造と形態と誘電性と電気的性質への膜厚の効果
Effect of film thickness on structural, morphology, dielectric and electrical properties of parylene C films
著者 (1件):
KAHOULI Abdelkader
(Grenoble Electrical Engineering Lab. (G2ELab), Joseph Fourier Univ. (UJF), CNRS, 25 Rue des Martyrs, BP 166, 38042 ...)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
112
号:
6
ページ:
064103-064103-7
発行年:
2012年09月15日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)