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文献
J-GLOBAL ID：201202252871541023
整理番号：12A1310703
アルゴンプラズマエッチングがシリコンへの金属微粒子無電解置換析出に及ぼす影響
Influence of Argon-Plasma Etching of Single-Crystalline Silicon on Electroless Displacement Deposition of Metal Particles
藤原良太
(兵庫県大 大学院工学研究科)
,
萩原泰三
(兵庫県大 大学院工学研究科)
,
萩原泰三
(神港精機)
,
松田貴士
(兵庫県大 大学院工学研究科)
,
江籠卓馬
(兵庫県大 大学院工学研究科)
,
福室直樹
(兵庫県大 大学院工学研究科)
,
八重真治
(兵庫県大 大学院工学研究科)
,
松田均
(兵庫県大 大学院工学研究科)
資料名：
表面技術
(Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 63 号： 9 ページ： 581-584 発行年： 2012年09月01日
JST資料番号： G0441B ISSN： 0915-1869 CODEN： HYGIEX 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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