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文献
J-GLOBAL ID:201202252871541023   整理番号:12A1310703

アルゴンプラズマエッチングがシリコンへの金属微粒子無電解置換析出に及ぼす影響

Influence of Argon-Plasma Etching of Single-Crystalline Silicon on Electroless Displacement Deposition of Metal Particles
著者 (8件):
藤原良太
(兵庫県大 大学院工学研究科)
萩原泰三
(兵庫県大 大学院工学研究科)
萩原泰三
(神港精機)
松田貴士
(兵庫県大 大学院工学研究科)
江籠卓馬
(兵庫県大 大学院工学研究科)
福室直樹
(兵庫県大 大学院工学研究科)
八重真治
(兵庫県大 大学院工学研究科)
松田均
(兵庫県大 大学院工学研究科)

資料名:
表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)

巻: 63  号:ページ: 581-584  発行年: 2012年09月01日 
JST資料番号: G0441B  ISSN: 0915-1869  CODEN: HYGIEX  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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