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文献
J-GLOBAL ID：201202252892592264
整理番号：12A0149755
高度なマイクロエレクトロニクスのためX線計測
X-ray metrology for advanced microelectronics
WYON C.
(CEA-LETI, Grenoble, FRA)
資料名：
European Physical Journal. Applied Physics
(European Physical Journal. Applied Physics)
巻： 49 号： 2 ページ： 20101,1-20101,24 発行年： 2010年02月
JST資料番号： B0655C ISSN： 1286-0042 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： フランス (FRA) 言語： 英語 (EN)
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