文献
J-GLOBAL ID:201202252932063588
整理番号:12A0871975
金属支援エッチングにおけるシリコンナノ構造形成に対する金属層形態の効果
Effects of Metal Layer Morphology to Silicon Nanostructure Formation in Metal-Assisted Etching
著者 (2件):
TSAO Chia-Wen
(National Central Univ., Jhongli, TWN)
,
CHANG Chia-Pin
(National Central Univ., Jhongli, TWN)
資料名:
Journal of Nanoscience and Nanotechnology
(Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻:
12
号:
3
ページ:
2742-2749
発行年:
2012年03月
JST資料番号:
W1351A
ISSN:
1533-4880
CODEN:
JNNOAR
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)