文献
J-GLOBAL ID:201202254615565805
整理番号:12A1727324
原子間力顕微鏡を用いた高速度波長可変超音波力制御ナノ加工リソフラフィー
High-rate tunable ultrasonic force regulated nanomachining lithography with an atomic force microscope
著者 (2件):
ZHANG Li
(North Carolina State Univ., NC, USA)
,
DONG Jingyan
(North Carolina State Univ., NC, USA)
資料名:
Nanotechnology
(Nanotechnology)
巻:
23
号:
8
ページ:
085303,1-9
発行年:
2012年03月02日
JST資料番号:
W0108A
ISSN:
0957-4484
CODEN:
NNOTER
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)