文献
J-GLOBAL ID:201202256491571715
整理番号:12A1245986
ノート:ナノ位置決めシステムの分解能推定法
Note: A method for estimating the resolution of nanopositioning systems
著者 (1件):
FLEMING Andrew J.
(School of Electrical Engineering and Computer Sci., Univ. of Newcastle, Callaghan, NSW 2308, AUS)
資料名:
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻:
83
号:
8
ページ:
086101-086101-3
発行年:
2012年08月
JST資料番号:
D0517A
ISSN:
0034-6748
CODEN:
RSINAK
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)