文献
J-GLOBAL ID:201202256562319630
整理番号:12A0871681
電気化学エッチング法による多孔質シリコンベースのシリコンオンインシュレータフォトニック結晶の製作
Fabrication of porous silicon-based silicon-on-insulator photonic crystal by electrochemical etching method
著者 (4件):
ZHONG Furu
(Xinjiang Univ., Urumqi, CHN)
,
LV Xiao-Yi
(Xinjiang Univ., Urumqi, CHN)
,
JIA Zhen-Hong
(Xinjiang Univ., Urumqi, CHN)
,
MO Jiaqing
(Xinjiang Univ., Urumqi, CHN)
資料名:
Optical Engineering
(Optical Engineering)
巻:
51
号:
4
ページ:
040502.1-040502.3
発行年:
2012年04月
JST資料番号:
B0577B
ISSN:
0091-3286
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)