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文献
J-GLOBAL ID：201202256855709998
整理番号：12A1429682
EUVリソグラフィ内の最先端欠陥検査ツールの性能の調査
Investigation of the performance of state-of-the-art defect inspection tools within EUV lithography
VAN DEN HEUVEL Dieter
(IMEC, Leuven, BEL)
,
JONCKHEERE Rik
(IMEC, Leuven, BEL)
,
BAUDEMPREZ Bart
(IMEC, Leuven, BEL)
,
CHENG Shaunee
(IMEC, Leuven, BEL)
,
MARCUCCILLI Gino
(KLA-Tencor, CA, USA)
,
CROSS Andrew
(KLA-Tencor, CA, USA)
,
INDERHEES Gregg
(KLA-Tencor, CA, USA)
,
PARISI Paolo
(KLA-Tencor, CA, USA)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 8324 号： Pt.1 ページ： 83240L.1-83240L.13 発行年： 2012年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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