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文献
J-GLOBAL ID：201202256975513655
整理番号：12A1116713
XeFエキシマレーザによる溶融石英の薄い金属層を用いたレーザ誘起前面エッチング
Laser-induced front side etching of fused silica with XeF excimer laser using thin metal layers
LORENZ Pierre
(Leibniz Inst. of Surface Modification, Permoserstr. 15, 04318 Leipzig, DEU)
,
EHRHARDT Martin
(Leibniz Inst. of Surface Modification, Permoserstr. 15, 04318 Leipzig, DEU)
,
WEHRMANN Anja
(Leibniz Inst. of Surface Modification, Permoserstr. 15, 04318 Leipzig, DEU)
,
ZIMMER Klaus
(Leibniz Inst. of Surface Modification, Permoserstr. 15, 04318 Leipzig, DEU)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 258 号： 23 ページ： 9138-9142 発行年： 2012年09月15日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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