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文献
J-GLOBAL ID：201202257850165155
整理番号：12A0960642
スライディング駆動電極の斜め形状を用いたLameモード八角マイクロ電気機械システム共振器
Lame-Mode Octagonal Microelectromechanical System Resonator Utilizing Slanting Shape of Sliding Driving Electrodes
OKAMOTO Tadashi
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
,
TANIGAWA Hiroshi
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
,
SUZUKI Kenichiro
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 51 号： 6,Issue 2 ページ： 06FL06.1-06FL06.7 発行年： 2012年06月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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