文献
J-GLOBAL ID:201202257879492503
整理番号:12A1446018
最新オーバーレイ制御のための重みづけ最小二乗回帰
Weighted least squares regression for advanced overlay control
著者 (5件):
KLEIN Dana
(KLA-Tencor Corp. Israel, Migdal Haemek, ISR)
,
ROBINSON John C.
(KLA-Tencor Corp., CA, USA)
,
COHEN Guy
(KLA-Tencor Corp. Israel, Migdal Haemek, ISR)
,
HUANG Chin-Chou Kevin
(KLA-Tencor Corp., CA, USA)
,
PIERSON Bill
(KLA-Tencor Corp., CA, USA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8324
号:
Pt.2
ページ:
832425.1-832425.7
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)