文献
J-GLOBAL ID:201202258256056628
整理番号:12A0773020
70nsのスイッチング速度を有するナノギャップのMEMSマイクロリレー
NANOGAP MEMS MICRO-RELAY WITH 70ns SWITCHING SPEED
著者 (6件):
VERGER A.
(Univ. Limoges, FRA)
,
POTHIER A.
(Univ. Limoges, FRA)
,
GUINES C.
(Univ. Limoges, FRA)
,
BLONDY P.
(Univ. Limoges, FRA)
,
VENDIER O.
(Thales Alenia Space, FRA)
,
COURTADE F.
(CNES, FRA)
資料名:
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻:
25th Vol.2
ページ:
717-720
発行年:
2012年
JST資料番号:
W0377A
ISSN:
1084-6999
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)