文献
J-GLOBAL ID:201202258301453757
整理番号:12A1429730
自由形式照明による照明ピューピルグラム(pupilgram)制御法の適用
Application of illumination pupilgram control method with freeform illmination
著者 (4件):
MATSUYAMA Tomoyuki
(Nikon Corp., Saitama, JPN)
,
KITA Naonori
(Nikon Corp., Saitama, JPN)
,
MATSUI Ryota
(Nikon Corp., Saitama, JPN)
,
IKEDA Junji
(Nikon Corp., Saitama, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8326
号:
Pt.1
ページ:
83260K.1-83260K.10
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)