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文献
J-GLOBAL ID：201202258323526804
整理番号：12A0783891
圧電性マグネトロンスパッタw-ScxAl1-xN薄膜の微細構造と誘電性
Microstructure and dielectric properties of piezoelectric magnetron sputtered w-ScxAl1-xN thin films
ZUKAUSKAITE Agne
(Thin Film Physics Div., Dep. of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linkoeping Univ., SE-581 83 Linkoeping, SWE)
,
WINGQVIST Gunilla
(Thin Film Physics Div., Dep. of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linkoeping Univ., SE-581 83 Linkoeping, SWE)
,
PALISAITIS Justinas
(Thin Film Physics Div., Dep. of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linkoeping Univ., SE-581 83 Linkoeping, SWE)
,
JENSEN Jens
(Thin Film Physics Div., Dep. of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linkoeping Univ., SE-581 83 Linkoeping, SWE)
,
PERSSON Per O. A.
(Thin Film Physics Div., Dep. of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linkoeping Univ., SE-581 83 Linkoeping, SWE)
,
MATLOUB Ramin
(Ceramics Lab., Ecole Polytechnique Federale de Lausanne EPFL, Lausanne, CHE)
,
MURALT Paul
(Ceramics Lab., Ecole Polytechnique Federale de Lausanne EPFL, Lausanne, CHE)
,
KIM Yunseok
(Center for Nanophase Materials Sciences, Oak Ridge National Lab., Oak Ridge, Tennessee 37831, USA)
,
BIRCH Jens
(Thin Film Physics Div., Dep. of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linkoeping Univ., SE-581 83 Linkoeping, SWE)
,
HULTMAN Lars
(Thin Film Physics Div., Dep. of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linkoeping Univ., SE-581 83 Linkoeping, SWE)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 111 号： 9 ページ： 093527-093527-7 発行年： 2012年05月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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