文献
J-GLOBAL ID:201202258424913973
整理番号:12A0067918
AlN結晶の昇華成長における成長速度と層均一性に及ぼす圧力と温度の影響
The impact of pressure and temperature on growth rate and layer uniformity in the sublimation growth of AlN crystals
著者 (3件):
GAO B.
(Res. Inst. for Applied Mechanics, Kyushu Univ., Kasuga, Fukuoka 816-8580, JPN)
,
NAKANO S.
(Res. Inst. for Applied Mechanics, Kyushu Univ., Kasuga, Fukuoka 816-8580, JPN)
,
KAKIMOTO K.
(Res. Inst. for Applied Mechanics, Kyushu Univ., Kasuga, Fukuoka 816-8580, JPN)
資料名:
Journal of Crystal Growth
(Journal of Crystal Growth)
巻:
338
号:
1
ページ:
69-74
発行年:
2012年01月01日
JST資料番号:
B0942A
ISSN:
0022-0248
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)