文献
J-GLOBAL ID:201202258744249770
整理番号:12A0773131
超軟弱エラストマー膜と銅-パーマロイ電着構造をベースにした静磁気マイクロアクチュエータ
MAGNETOSTATIC MICRO-ACTUATOR BASED ON ULTRASOFT ELASTOMERIC MEMBRANE AND COPPER-PERMALLOY ELECTRODEPOSITED STRUCTURES
著者 (6件):
STREQUE J.
(PRES Univ. Lille North of France, Villeneuve d’Ascq, FRA)
,
TALBI A.
(PRES Univ. Lille North of France, Villeneuve d’Ascq, FRA)
,
BONNEROT C.
(PRES Univ. Lille North of France, Villeneuve d’Ascq, FRA)
,
PERNOD P.
(PRES Univ. Lille North of France, Villeneuve d’Ascq, FRA)
,
PREOBRAZHENSKY V.
(PRES Univ. Lille North of France, Villeneuve d’Ascq, FRA)
,
PREOBRAZHENSKY V.
(A.M. Prokhorov General Physics Inst., Russian Acad. Sci., RUS)
資料名:
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻:
25th Vol.2
ページ:
1157-1160
発行年:
2012年
JST資料番号:
W0377A
ISSN:
1084-6999
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)